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極限分壓強(Pa)<6×10-2(<5×10-4torr)極限全壓強(Pa)<2.66(<2×10-2torr)抽速(L/S)248153070電機功率(Kw)0.370.551.12.235.5進氣口直徑(mm)2528(25)34(40)366580冷卻方式自然風冷水冷注油量0.350.550.64.23.25重量(Kg)406078128231375
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雙級旋片真空泵防爆
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